Evaporatore NanoPVD-T15A
Metalli ad alte prestazioni, evaporazione organica in pacchetti compatti per ubicazione da banco. Prestazioni superiori ed efficienti e ideali per la ricerca OLED, OPV e OFET.
Tecniche
Evaporazione a bassa temperatura | Evaporazione termica
Il modello T15A può essere dotato di evaporazione a bassa temperatura (LTE) e sorgenti di evaporazione resistiva standard per la deposizione di sostanze organiche e metalli, rispettivamente.
Le fonti LTE sono a bassa massa termica per un migliore controllo durante l’evaporazione di materiali organici volatili, mentre le fonti di metalli sono i nostri modelli TE1 schermati a scatola per una deposizione efficiente e una ridotta contaminazione incrociata.
L’accesso alla camera avviene tramite un coperchio incernierato, che si apre per rivelare un palco adatto a contenere substrati fino a 4″ di diametro. La camera è alta, consentendo un rivestimento ad alta uniformità tramite tecniche di evaporazione.
Le unità sono facili da controllare tramite un’interfaccia HMI touchscreen, di semplice manutenzione, hanno bassi costi di esercizio e sono dotate di una gamma completa di funzioni di sicurezza.
Con un sistema di pompaggio turbomolecolare, pressioni di base ad alto vuoto, controllo automatizzato diretto tramite un HMI touchscreen e una gamma di opzioni per una configurazione flessibile, il nanoPVD-T15A è una soluzione versatile ed efficiente per applicazioni di ricerca e sviluppo di livello mondiale.
Caratteristiche principali
- Configurazione da banco
- Fonti di evaporazione di sostanze organiche e metalli
- Camera ad alto rapporto d’aspetto per un rivestimento uniforme
- Funzionamento completamente automatico tramite HMI touchscreen
- Definisci/salva più ricette di processo
- Substrati fino a 4 pollici di diametro
- Pressioni di base <5 × 10-7 mbar
- Attrezzato per una facile manutenzione
- Funzioni di sicurezza complete
- Prestazioni comprovate
Opzioni
- Pompa per prevuoto a secco
- Sfiato rapido della camera
- Controllo automatico della pressione ad alta risoluzione
- Fino a 4 fonti LTE per i prodotti organici
- Fino a 2 fonti di evaporazione per metalli
- Fase di riscaldamento del substrato a 500 °C
- Rotazione del substrato, Z-shift e persiane
- Testa del sensore in cristallo di quarzo
