Moorfield è stata creata per fornire servizi nella tecnologia del vuoto principalmente al mercato della ricerca accademica. Mentre il servizio iniziale e il lato retrofit dell’attività sono ancora importanti per la comunicazione e il feedback continui dei clienti, l’azienda è ora cresciuta fino a fornire prodotti fabbricati in-house.

La nostra gamma di deposizione sottovuoto è rivolta alla produzione industriale su scala pilota e alle istituzioni educative di fascia alta. Il design dei sistemi implicano un’ampia modularità, portando a soluzioni flessibili ideali per ambienti R&D in cui i requisiti tecnici mutevoli sono comuni.

La gamma è composta da piattaforme di partenza che possono poi essere popolate con numerosi set di componenti per la deposizione di metalli, materiali inorganici ed organici. I sistemi possono essere costruiti come unità indipendenti o possono essere combinati nella glovebox quando la sensibilità all’aria può essere un problema.

A seconda dell’applicazione siamo in grado di offrire diverse soluzioni. Tra queste:

Evaporazione termica
L’evaporazione termica è un mezzo semplice di deposizione di film sottile con materiali riscaldati a temperature di evaporazione tramite un supporto resistivo riscaldato.

Deposizione nella glovebox
Sistem PVD (physical vapour deposition) Minilab integrato nella Glovebox per la deposizione di film sottili di metalli, inorganici e organici con manipolazione dei campioni in ambienti inerti.

Soft-etching nella glovebox
Moorfield presenta i suoi strumenti “soft-etching” MiniLab 026 integrati nella glovebox per i ricercatori che lavorano su grafene e materiali 2D che richiedono la manipolazione del campione in atmosfere inerti.

Ricottura (annealing) nella glovebox
Sistema MiniLab per ricottura integrato nella glovebox per il riscaldamento del substrato in condizioni controllate e il trasferimento da/in atmosfere inerti.

Sistemi integrati nella glovebox
Sistemi MiniLab compatibili con Glovebox per processi PVD, etching e ricottura.

Evaporazione a fascio elettronico (E-Beam)
Durante l’evaporazione a fascio di elettroni (o evaporazione E-Beam), i materiali evaporanti vengono riscaldati a temperature elevate attraverso il bombardamento da flussi di elettroni ad alta energia.

Evaporazione a bassa temperatura
Nell’evaporazione a bassa temperatura (LTE), il riscaldamento resistivo viene utilizzato per evaporare i materiali contenuti in un crogiolo.

Sputtering con magnetron
Nello sputtering con magnetron, i campi magnetici focalizzano il plasma sulle superfici del materiale bersaglio, espellendo il materiale che si muove attraverso il plasma per rivestire i substrati. Il sistema è adatto per depositare la maggior parte dei materiali (con corretta scelta dell’alimentatore per sputtering).

Trattamento termico
Sistemi completi di trattamento termico e componenti su misura per il trattamento di campioni ad alta temperatura in atmosfere controllate a bassa pressione, inerti e reattive.

Soft-etching
La tecnologia soft-etching di Moorfield è unica a fornire il controllo preciso necessario per la preparazione di substrati e dispositivi nella ricerca sui materiali 2D a livello mondiale.

Deposizione chimica da vapore
La gamma nanoCVD di Moorfield consente una produzione rapida ed economica di grafene e nanotubi di carbonio utilizzando metodi scalabili di deposizione chimica da vapore (CVD).