Lo sputter Q150T S Plus è ottimizzato per l’uso con pompa turbomolecolare, e raggiunge un vuoto fino a 5 x 10-5 mbar. Questo consente lo sputtering di metalli non nobili, che hanno una granulometria inferiore adatta pertanto all’imaging ad alta risoluzione.

CARATTERISTICHE PRINCIPALI

• In grado di raggiungere un vuoto di 2 x 10-5 mbar
• Nuovo schermo capacitivo touch e swipe
• Porta USB per aggiornamenti e download di file memorizzati
• Possibilità di memorizzare il profilo di più utenti
• Nuovo software che ordina i programmi per utente, in base all’uso più recente
• 16 GB di memoria che può salvare più di 1000 programmi
• Nuovo indicatore frontale di stato visivo a LED multicolore che indica lo stato del processo
• Stages opzionali intercambiabili e sostituzione semplice delle teste di deposizione

La versione Q150T S Plus è lo sputter di metalli non nobili quali: cromo, iridio, wolframio, ossido di indio-stagno, alluminio in aggiunta di quelli nobili (oro, oro/palladio e platino).