Evaporatore/ Sputter/ e-beam MiniLab125
Gli strumenti MiniLab 125 portano il concetto modulare a livello pilota. Le ampie camere consentono set di componenti di dimensioni maggiori per il rivestimento di grandi aree e una gamma di opzioni load-lock consentono operazioni ad alta produttività. Allo stesso tempo, i sistemi sono completamente personalizzabili.
Tecniche
E-beam evaporazione | Evaporazione a bassa temperatura | Magnetron Sputterin| Deposizione sottovuoto di nanoparticelle | Evaporazione termica
I sistemi MiniLab 125 sono evaporatori sottovuoto a pavimento per la deposizione di film sottili metallici, dielettrici e/o organici. Tutti i sistemi contengono una camera in acciaio inossidabile di tipo scatolare con una porta frontale per il carico/scarico. I grandi volumi della fotocamera consentono grandi sorgenti per il rivestimento su scala pilota o tecniche multiple per uno strumento di ricerca e sviluppo flessibile. Sono disponibili sistemi dotati di tutte le principali tecniche di deposizione e stage personalizzati per substrati specifici.
I sistemi di pompaggio turbomolecolari sono standard, per espressione di base in alto vuoto superiori a 5 × 10-7 mbar. La configurazione esatta è estremamente flessibile e dipende dal budget e dalle applicazioni del cliente.
Caratteristiche principali
- Design modulare
- Sportello anteriore scorrevole per il caricamento nel vano portaoggetti
- Porta posteriore per accesso di servizio
- Sistemi turbomolecolari o di criopompaggio
- Pressioni di base <5 × 10-7 mbar
- Deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche
- Substrati di diametro fino a 11”.
- HMI/PC touchscreen per il controllo del sistema
- Attrezzato per una facile manutenzione
- Funzioni di sicurezza complete e interblocchi
- Compatibile con camere bianche
Opzioni
- Pompaggio: pompe ad alto vuoto turbomolecolari o criogeniche, pompe rotative o a coclea
- Gas/pressione: controllo manuale o automatico tramite MFC e valvole a farfalla
- Load-lock: campione singolo e multiplo
- Stage: rotazione, riscaldamento, raffreddamento, spostamento Z, polarizzazione e planetario
- Shutter: Sorgente e sunstrato, pneumatiche o motorizzate
- Funzionamento: Manuale o automatico tramite pannelli frontali, HMI touchscreen o PC
- Processo: testine del sensore in cristallo di quarzo per il monitoraggio della frequenza/spessore o il controllo del ciclo di feedback
