Gli Evaporatori / Sputter MiniLab 026 sono dei sistemi sottovuoto a pavimento compatti con camere “a conchiglia” di facile accesso. Adatto per la deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche mediante tecniche di evaporazione e sputtering.
Gli strumenti MiniLab 026 includono una pompa turbomolecolare posizionata su una porta ISO100 nella parte posteriore della camera a vuoto. Anche la base della camera a vuoto si trova nel telaio di supporto. Il coperchio della camera può essere un coperchio a cilindro in acciaio inossidabile (ad esempio, per una disposizione della camera di tipo “a conchiglia”) o una campana di vetro, simile all’Edwards E306. I sistemi possono essere dotati di un’ampia varietà di tecniche di deposizione.
Le tecniche includono sorgenti di evaporazione termica e a bassa temperatura (per metalli e sostanze organiche) e sorgenti di magnetron sputtering (per metalli e sostanze inorganiche). Le sorgenti di deposizione sono tipicamente montate sulla piastra di base della camera. Gli stadi del substrato sono supportati dal tetto e possono ospitare una gamma di dimensioni del substrato fino a 6 pollici di diametro. Sono disponibili il riscaldamento del substrato, la rotazione e lo spostamento Z. Il MiniLab 026 è anche compatibile con il glovebox ed è l’unico sistema della gamma MiniLab che può essere facilmente adattato a un glovebox esistente.
Caratteristiche principali
- Design modulare
- Camere “a conchiglia” o a campana
- Sistemi di pompaggio turbomolecolari
- Pressioni di base <5 × 10-7 mbar
- Substrati fino a 6 pollici di diametro
- HMI/PC touchscreen per il controllo del sistema
- Attrezzato per una facile manutenzione
- Funzioni di sicurezza complete e interblocchi
- Compatibile con camere bianche
- Prestazioni comprovate
- Compatibile con il cassetto portaoggetti
Opzioni
- Pumping: Rotary or scroll backing pumps.
- Gas/pressione: controllo manuale o automatico tramite MFC e valvole a farfalla.
- Stage: rotazione, riscaldamento e spostamento Z.
- Shutters: Sorgenti e substrati, pneumatiche o motorizzate.
- Funzionamento: Manuale o automatico tramite pannelli frontali, HMI touchscreen o PC.
- Processo: testine del sensore in cristallo di quarzo per il monitoraggio della frequenza/spessore o il controllo del ciclo di feedback.
