Gli Evaporatori / Sputter MiniLab 026 sono dei sistemi sottovuoto a pavimento compatti con camere “a conchiglia” di facile accesso. Ideali per la deposizione di metalli, dielettrici e sostanze organiche, i MiniLab 026 supportano diverse tecniche di deposizione, tra cui evaporazione e sputtering.
Dotazioni
Ogni sistema MiniLab 026 è dotato di una pompa turbomolecolare, posizionata su una porta ISO100 nella parte posteriore della camera a vuoto. La camera stessa è integrata nel telaio di supporto e può essere configurata con un coperchio in acciaio inossidabile a cilindro (per la classica disposizione a “conchiglia”) o con una campana di vetro, simile ai modelli storici come l’Edwards E306. Questa flessibilità consente di adattare il sistema alle specifiche esigenze del laboratorio.
Tecniche di deposizione
I MiniLab 026 offrono una gamma completa di tecniche di deposizione. Tra queste, sono incluse le sorgenti di evaporazione termica e a bassa temperatura, adatte per metalli e materiali organici, nonché le sorgenti di magnetron sputtering per la deposizione di metalli e sostanze inorganiche. Le sorgenti di deposizione sono solitamente montate sulla piastra di base della camera, mentre gli stadi del substrato, sospesi dal tetto della camera, possono ospitare substrati fino a 6 pollici di diametro, con opzioni di riscaldamento, rotazione e regolazione dell’asse Z per ottimizzare il processo di deposizione.
Compatibilità
Un altro punto di forza del MiniLab 026 è la sua compatibilità con i glovebox, che lo rende particolarmente adatto per ambienti in cui la manipolazione in atmosfere controllate è essenziale. È l’unico sistema della gamma MiniLab progettato per essere facilmente integrabile in un glovebox esistente, offrendo una soluzione completa e flessibile per applicazioni che richiedono la massima precisione nella deposizione in condizioni atmosferiche specifiche.
Caratteristiche principali
- Design modulare
- Camere “a conchiglia” o a campana
- Sistemi di pompaggio turbomolecolari
- Pressioni di base <5 × 10-7 mbar
- Substrati fino a 6 pollici di diametro
- HMI/PC touchscreen per il controllo del sistema
- Attrezzato per una facile manutenzione
- Funzioni di sicurezza complete e interblocchi
- Compatibile con camere bianche
- Prestazioni comprovate
- Compatibile con il cassetto portaoggetti
Opzioni disponibili
- Pumping: Rotary or scroll backing pumps.
- Gas/pressione: controllo manuale o automatico tramite MFC e valvole a farfalla.
- Stage: rotazione, riscaldamento e spostamento Z.
- Shutters: Sorgenti e substrati, pneumatiche o motorizzate.
- Funzionamento: Manuale o automatico tramite pannelli frontali, HMI touchscreen o PC.
- Processo: testine del sensore in cristallo di quarzo per il monitoraggio della frequenza/spessore o il controllo del ciclo di feedback.