Il K850WM è uno strumento compatto da banco progettato per operare il CPD di un wafer completo da 150 mm. Un comodo supporto per wafer consente un rapido trasferimento e garantisce che non si verifichi una pre-reazione.

Caratteristiche:

• Camera diametro 170 mm, quindi di dimensioni ottimizzate per l’asciugatura di wafer/MEMS
• Camera verticale con caricamento dall’alto e drenaggio inferiore
• Riscaldamento termoelettrico che garantisce il controllo accurato della temperatura
• Controllo preciso della riduzione della pressione: un controllo preciso della decompressione evita potenziali danni ai campioni a causa della variazione incontrollato della pressione
• Monitoraggio e controllo della temperatura con protezione termica
• Monitoraggio della pressione con protezione di sicurezza per sovrappressione