Il Prober Shuttle è il nostro ultimo strumento per il nanoprobing elettrico in-situ ad alta precisione sul nodo tecnologico a 7 nm – e oltre! Per realizzare la nostra visione di questo prodotto, abbiamo sviluppato un manipolatore a tre assi ultrapiatto con stabilità e precisione senza pari: l’MM4.

Il Prober Shuttle può essere composto da un massimo di otto MM4 con l’opzione di un substage ultrapiatto a due o tre assi.