Adatto per deposizione sequenziale multistrato di due materiali. Infatti, il Q300T D Plus ha due testate di sputtering indipendenti, che consentono lo sputtering sequenziale di due metalli senza la necessità di interrompere il vuoto.
Il sistema è completamente automatizzato con programmi definiti dall’utente che controllano la sequenza di vuoto, il tempo, il numero di cicli di deposizione e la corrente utilizzata durante il processo. Possono essere depositati in sequenza strati illimitati di spessore variabile da due target di materiale differente passando ciclicamente da un target all’altro. Quando non vengono utilizzati, i target vengono schermati per evitare contaminazione.
CARATTERISTICHE PRINCIPALI
- Due testate di sputtering per la deposizione sequenziale di due materiali differenti
- In grado di raggiungere un vuoto di 2 x 10-5 mbar
- Nuovo schermo capacitivo touch e swipe
- Porta USB per aggiornamenti e download di file memorizzati
- Possibilità di memorizzare il profilo di più utenti
- Nuovo software che ordina i programmi per utente, in base all’uso più recente
- 16 GB di memoria che può salvare più di 1000 programmi
- Nuovo indicatore frontale di stato visivo a LED multicolore che indica lo stato del processo
- Possibilità di utilizzo di un unico target per la copertura di campioni di piccole dimensioni
