RotaQ ES è un coater con pompa rotativa automatico e versatile che offre una facilità d’uso senza pari. Consigliato per la preparazione di campioni per l’esame di campioni mediante microscopia elettronica (EM). Adatto per l’uso con SEM al tungsteno/LaB⁶ e SEM da banco.

RotaQ ES è un sistema combinato in grado di eseguire sia lo sputtering che il rivestimento al carbonio. Gli inserti della testa di deposizione possono essere scambiati per consentire l’evaporazione del metallo/pulizia dell’apertura e la scarica luminescente.

Applicazioni

• SEM al filamento di Tungsten/LaB⁶ e SEM banco
• Ingrandimenti bassi e medi
• Metalli nobili Au, Au/Pd, Pd, Ag, Pt/Pd
• Rivestimento in carbonio per analisi elementari e rivestimento in carbonio di griglie TEM

Caratteristiche principali

• Peso dell’unità: 34 Kg (modello ES)
• Peso imballato 48 Kg (modello ES)
• Dimensioni dello strumento 440 mm (L) x 556 mm (A) x 551 mm (P)
• Dimensioni dello strumento con camera aperta: 440 mm (L) x 860 mm (A) x 551 mm (P)
• Stage porta campione rotante
  • Stage corto 65 mm (A) dalla base della camera, 50 mm Ø diametro
  • Stage alto: 145 mm (A) dalla base della camera, 50 mm Ø diametro
• Dimensioni della camera: 150 mm Ø diametro, 220 mm (A)
• Vuoto finale 6×10-3 mbar
• Vuoto operativo 1×10-1 mbar
• Intervallo del vacuometro 1013 – 1×10-4 mbar
• Interfaccia utente Display a colori touch screen
• Connettori USB File di registro del processo di backup e ricette facilmente ottenibili tramite un USB Sputter Coater Sputter Coater (RotaQ S e RotaQ ES)
• Target Sputter: 57 mm Ø diametro x 0,1 mm (spessore). Target Au fornito di serie.
• Corrente di deposizione 1-150 mA
• Velocità di deposizione 0,1-20 nm/min (ad es. per Au) Timer Sputter 0-60 min
• Evaporation Coater (RotaQ E e RotaQ ES) Corrente di evaporazione (bacchetta) 5-75 A (dipendente dal processo)
• Corrente di gas in uscita 1-40 A
• Sorgente di carbonio bacchetta da 3,2 mm o fibra di carbonio
• Alimentazione 90 V – 240 V 50/60 Hz, 1350 W inclusa pompa