TurboQ ES è un sistema per coating automatico corredato di pompa turbomolecolare che offre una facilità d’uso senza pari. Lo strumento è consigliato per la preparazione di campioni per l’esame di campioni mediante microscopia elettronica (EM). Adatto per l’uso con FE-SEM, FEG-SEM e FIB-SEM.

TurboQ ES è un sistema combinato in grado di effettuare sia lo sputtering che il rivestimento al carbonio. Gli inserti della testa di deposizione possono essere scambiati per consentire l’evaporazione del metallo/pulizia dell’apertura e Glow Discharge.

Applicazioni

• SEM e FIB-SEM ad altissima risoluzione
• Rivestimento di metalli nobili e ossidanti
• Rivestimento in carbonio per analisi elementari e rivestimento in carbonio di griglie TEM
• Rivestimento in carbonio per analisi elementari e rivestimento di griglie TEM

Caratteristiche principali

• Peso unità 38 Kg (modello ES)
• Peso imballato 54 Kg (modello ES)
• Dimensioni strumento 440 mm (L) x 556 mm (A) x 551 mm (P)
• Dimensioni strumento con camera aperta 440 mm (L) x 860 mm (A) x 551 mm (P)
• Stage portacampione
  • Piatto corto 65 mm (A) dalla base della camera, 50 mm Ø diametro
  • Piatto alto: 145 mm (A) dalla base della camera, 50 mm Ø diametro
• Dimensioni camera: 150 mm Ø diametro, 220 mm (A)
• Vuoto finale 1×10-6 mbar
• Vuoto operativo 5×10-6 mbar
• Campo misuratore di vuoto da 1000 a x10-9 mbar
• Interfaccia utente Display a colori touch screen
• Tensione di alimentazione 100 V – 240 V Sputter Coater (TurboQ S e TurboQ ES)
• Target di sputtering, diametro 57 mm x spessore 0,3 mm (cromo fornito di serie)
• Stage portacampione rotante con diametro 50 mm Ø
• Corrente di deposizione 1-150 mA
• Velocità di deposizione 0,1-20 nm/min (ad es. per Au)
• Timer di sputtering 0-60 min
• Rivestitore di evaporazione (TurboQ E e TurboQ ES)
• Corrente di evaporazione (asta) 5-75 A (dipendente dal processo)
• Corrente di gas in uscita 1-40 A
• Fonte di carbonio Bacchette da 3,2 mm o fibra di carbonio