DESCRIZIONE
Turbo Sputter Coater di metalli ossidanti e non ossidanti ed evaporazione del carbonio integrabile in glovebox.
Applicazioni
- SEM e FIB-SEM ad alta risoluzione
- Coating in carbonio per analisi elementari e rivestimento in carbonio di griglie TEM
CARATTERISTICHE PRINCIPALI
- In grado di raggiungere un vuoto di 5×10⁻⁵ mbar
- Target di cromo di serie
- In grado di sputterare metalli non ossidanti e ossidanti, ad esempio Cr, Ir, W, Al, Ti, Au, Pt
- In grado di evaporare baccchette di carbonio (evaporazione in fibra di carbonio disponibile come opzione)
- Sistema modulare per il montaggio in glove box
- Monitoraggio della pressione integrale della glovebox
- Funzionamento remoto dal pannello di controllo touchscreen