Il RotaQ S è un coater con pompa rotativa automatico e versatile che offre una facilità d’uso senza pari. Consigliato per la preparazione di campioni per l’esame di campioni mediante microscopia elettronica (EM). Lo sputter con pompa rotativa è adatto per l’uso con SEM al filamento di Tungsten/LaB⁶ e SEM banco.

RotaQ S è un rivestimento a sputtering automatico per metalli nobili. I target di sputtering disponibili includono Au, Au/Pd, Pd, Ag, Pt/Pd.

Applicazioni

• SEM al filamento di Tungsten/LaB⁶ e SEM banco.
• Ingrandimenti bassi e medi
• Metalli Nobili Au, Au/Pd, Pd, Ag, Pt/Pd

Caratteristiche principali

• Peso unità 32 Kg (modello S)
• Peso imballato 46 Kg (modello S)
• Dimensioni strumento 440 mm (L) x 556 mm (A) x 551 mm (P)
• Dimensioni strumento con camera aperta 440 mm (L) x 860 mm (A) x 551 mm (P)
• Stage porta campione rotante
  • Stage corto 65 mm (A) dalla base della camera, 50 mm Ø diametro
  • Stage alto: 145 mm (A) dalla base della camera, 50 mm Ø diametro
• Dimensioni camera: 150 mm Ø diametro, 220 mm (A)
• Vuoto finale 6×10-3 mbar
• Vuoto operativo 1×10-1 mbar
• Intervallo vacuometro 1013 – 1×10-4 mbar
• Interfaccia utente Display a colori touch screen
• Connettori USB Backup dei file di registro del processo e delle ricette facilmente ottenibili tramite un USB Sputter Coater
• Target Sputter: diametro 57 mm Ø x 0,1 mm (spessore). Target Au fornito di serie.
• Corrente di deposizione 1-150 mA
• Velocità di deposizione 0,1-20 nm/min (ad es. per Au)
• Timer sputter 0-60 min