TurboQ S è un sistema per coating automatico corredato di pompa turbomolecolare che offre una facilità d’uso senza pari. Lo strumento è consigliato per la preparazione di campioni per l’esame di campioni mediante microscopia elettronica (EM). Adatto per l’uso con FE-SEM, FEG-SEM e FIB-SEM.

Il TurboQ S è uno sputter automatizzato per metalli nobili e/o ossidanti. Un Target in Cromo è offerto di serie.

Applicazioni

• SEM e FIB-SEM ad altissima risoluzione
• Rivestimento di metalli nobili e ossidanti

Caratteristiche principali

• Peso unità 36 Kg (modello S)
• Peso imballato 53 Kg (modello S)
• Dimensioni strumento 440 mm (L) x 556 mm (A) x 551 mm (P)
• Dimensioni strumento con camera aperta 440 mm (L) x 860 mm (A) x 551 mm (P)
• Stage portacampione
  • Piatto corto 65 mm (A) dalla base della camera, 50 mm Ø diametro
  • Piatto alto: 145 mm (A) dalla base della camera, 50 mm Ø diametro
• Dimensioni camera: 150 mm Ø diametro, 220 mm (A)
• Vuoto finale 1×10-6 mbar
• Vuoto operativo 5×10-6 mbar
• Campo misuratore di vuoto da 1000 a x10-9 mbar
• Target di sputtering, diametro 57 mm x spessore 0,3 mm (cromo fornito di serie)
• Interfaccia utente Display a colori touch screen
• Tensione di alimentazione 100 V – 240 V Sputter Coater (TurboQ S e TurboQ ES)