Sputter Q150V S Plus

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DESCRIZIONE

Il Q150V S Plus è lo strumento ottimale per applicazioni che necessitano alto vuoto, infatti raggiunge un vuoto finale di 1×10-6mbar. Grazie all’uso di un sistema Penning / Pirani ad ampio raggio, è possibile lo sputtering di metalli non nobili con granulometrie ultra-sottili, che sono adatti per l’imaging ad alta risoluzione. La bassa pressione rimuove biossido di azoto e il vapore acqueo dalla camera, evitando reazioni chimiche durante il processo di sputtering, che potrebbero altrimenti causare impurità o difetti nei rivestimenti. Inoltre, una minor dispersione del materiale consente film di carbonio amorfo di elevata purezza e alta densità.

Il Q150V Plus offre tutti i vantaggi del Q150T Plus, ma con una granulometria più fine e un rivestimento più sottile, per applicazioni ad altissima risoluzione (oltre 200K ingrandimenti).

CARATTERISTICHE PRINCIPALI

  • In grado di raggiungere un vuoto di 2 x 10-6 mbar
  • Nuovo schermo capacitivo touch e swipe
  • Porta USB per aggiornamenti e download di file memorizzati
  • Possibilità di memorizzare il profilo di più utenti
  • Nuovo software che ordina i programmi per utente, in base all’uso più recente
  • 16 GB di memoria che può salvare più di 1000 programmi
  • Nuovo indicatore frontale di stato visivo a LED multicolore che indica lo stato del processo
  • Stages opzionali intercambiabili e sostituzione semplice delle teste di deposizione

Il Q150V S Plus – sputtering di metalli non nobili con granulometria ultra fine. Target disponibili: cromo, iridio e tutti i metalli nobili (oro, oro/palladio e platino)